在高真空下,電子槍燈絲加熱后發(fā)射熱電子,被加速陽極加速,獲得很大的動(dòng)能轟擊到的蒸發(fā)材料上,把動(dòng)能轉(zhuǎn)化成熱使蒸發(fā)材料加熱氣化,而實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜。電子束蒸發(fā)源由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可高度集中,使鍍膜材料局部達(dá)到高溫而蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率,可以方便的控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率,特別是有利于高熔點(diǎn)以及高純金屬和化合物材料。
電子束加熱蒸發(fā)鍍膜的缺點(diǎn)
、匐娮邮舭l(fā)鍍膜機(jī)的整體的構(gòu)造比較的復(fù)雜,價(jià)格相較于其他的鍍膜設(shè)備而言比較的偏高。
、阱兡C(jī)在工作的時(shí)候,如果蒸發(fā)源附近的蒸汽的密度比較高的話,就會(huì)使得電子束流和蒸汽粒子之間發(fā)生一些相互的作用,將會(huì)對(duì)電子的通量產(chǎn)生影響,使得電子的通量散失或者偏移軌道。同時(shí)你還可能會(huì)引發(fā)蒸汽和殘余的氣體的激發(fā)和電離,以此影響到整個(gè)薄膜的質(zhì)量。