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技術(shù)應(yīng)用

SFQ超導(dǎo)低頻多通道測(cè)量系統(tǒng)的應(yīng)用：
1、制造技術(shù)表征：測(cè)量晶圓臨界電流密度；JJ區(qū)域偏差；微帶線與 其他版圖單元的Ic與Tc參數(shù)；加工誤差統(tǒng)計(jì)表征
2、芯片量產(chǎn)篩選：自動(dòng)運(yùn)行程序?qū)π酒�質(zhì)量定性的診斷
3、SQUID傳感技術(shù)：I-V和Φ -V的高分辨率多通道測(cè)量
4、復(fù)雜電路的測(cè)量：模擬/數(shù)字超導(dǎo)體設(shè)計(jì)的高精度高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量：ADC、DAC電壓標(biāo)準(zhǔn)
5、數(shù)字 RSFQ 電路的功能測(cè)試:驗(yàn)證復(fù)雜測(cè)試模式上的邏輯功能，在多維度參數(shù)空間中找到操作區(qū)域
6、布局設(shè)計(jì):測(cè)量片上電阻器的值；提取電阻陣列和復(fù)雜電阻值的參數(shù)；測(cè)量片上元件的電感

定制電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的應(yīng)用：
1、用于LIFT-OFF工藝鍍膜
2、用于GLAD工藝鍍膜
3、可蒸鍍金屬，半導(dǎo)體或介質(zhì)材料
4、可蒸鍍鐵鈷鎳等磁性材料
5、可蒸鍍單層、多層膜或共蒸合金薄膜
6、用于量子科學(xué)、超導(dǎo)材料、約瑟夫結(jié)、半導(dǎo)體、碳基器件、石墨烯等二維半導(dǎo)體材料、光電微納器件、生物薄膜及其他材料薄膜沉積

光學(xué)與芯片測(cè)試系統(tǒng)的應(yīng)用：
功能：光波導(dǎo)芯片與光纖陣列的單端或雙端全自動(dòng)耦合。